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重掺杂多晶硅薄膜中磷氧化物的探究
在 n-TOPCon (tunneling oxide passivation contact) 光伏器件中,高浓度磷掺杂的多晶硅薄膜 (n+ poly-Si) 是电子选择性钝化的关键材......
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多晶硅(n+)
磷氧化物
硅氧化物
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深度刻蚀分析
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