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温和氨气等离子体相关论文
过渡金属硫属化合物MS2(M=Mo、W)的制备及等离子体改性研究
二维材料以其优异的电学、力学、热学和光学性能,成为新一代半导体材料领域的研究热点。先进的生长工艺和表面改性技术对改善二维......
学位
二硫化钼
二硫化钨
化学气相沉积
温和氨气等离子体
掺杂改性
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