湿氮氧化相关论文
基于非对称氧化技术, 引入氧化孔径横向光场损耗各向异性, 使得TE/TM偏振光功率差进一步增加, TM偏振得到有效抑制, 从而实现795nm......
详细研究了凸形、凹形与条形台面的AlGaAs湿氮氧化规律.对三种形状的台面分别进行氧化长度的观察测试,发现凸形、条形及凹形台面的......
采用低压金属有机化合物气相外延生长技术,应用AlAs/AlGaAs选择性湿氮氧化工艺实现光、电限制,制备出具有一定性能的980nm内腔接触......
