溅射源相关论文
<正> 加速器质谱计(AMS)是70年代末发展起来的超微量分析技术,它与常规质谱计比较,可以利用某些元素不能形成负离子的性质和将待测......
将纯稀土金属块镧、铈、钕分别放入离子氮化炉中作为溅射源，对氮化钢En40B钢进行离子氮化，发现纯稀土元素影响了炉内的辉光放电特性......
S—枪是真空溅射镀膜源的后起之秀,属于磁控溅射。该枪在工作真空环境下利用氩气为溅射气体,施加正交电磁场,产生辉光放电,并在靶......
随着世界范围内掀起的超导热，各国都相继也开展了高Ｔｃ超导体、高Ｔｃ超导薄膜的研制。随着超导薄膜应用研究的深入，小面积膜逐步向大面积膜......
一台用于超灵敏质谱（AMS）的带有多靶机构的强流溅射负离子源已经研制完成，为了满足AMS的特殊要求，源的设计着重解决提高流程，降低记忆效......
自１９９５年以来，在中科院近物所２ＭＶ串列静电加速器上对溅射负离子源进行了调试，调试中对源体作了重大的改进，逐步完善了运行工艺，利用该离子源加......
