溅射源相关论文
将纯稀土金属块镧、铈、钕分别放入离子氮化炉中作为溅射源，对氮化钢En40B钢进行离子氮化，发现纯稀土元素影响了炉内的辉光放电特性......
一台用于超灵敏质谱（AMS）的带有多靶机构的强流溅射负离子源已经研制完成，为了满足AMS的特殊要求，源的设计着重解决提高流程，降低记忆效......
