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溅射离子泵抽气系统的B—A计检漏
给出了以大气中各气体组分的漏率为基础的检漏灵敏度公式,分析了获得高灵敏度的条件,提出了选择示漏气体的综合依据。计算表明,用氩作......
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B-A计
溅射离子原
抽气系统
真空检漏
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