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源参杂相关论文

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报道了采用离子辅助电子枪蒸发技术制备优质氧化锌透明导电膜的工艺和结果，分析了源掺杂，镀膜气氛，衬底温度等参数与膜的电导率及......

期刊

氧化锌透明导电膜离子辅助蒸发电子束蒸发氧化物半导体电导率透光特性源参杂镀膜气氛 zinc oxide transparent conductiv

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