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洁净空间阻漏层气流分布方式的特性和应用
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阻漏层
气流分布
过滤
密封
解耦
满布比
洁净室气流组织模拟及优化
在信息时代高速发展的今天,大规模、超大规模集成电路的生产对洁净室提出了更高的要求。优化洁净室气流组织形式是提高洁净室洁净......
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