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激光晶体生长自动直径控制(ADC)技术研究
本课题的主要研究对象是激光晶体生长设备中的核心技术—自动直径控制(ADC)技术。自动直径控制技术是Czochralski法(简称:Cz法)晶体生......
学位
晶体生长
激光炉
自动直径控制
上称重法
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