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SiOP介质膜及其对InGaAsP/InP量子阱激光结构混合无序的影响
用等离子体增强化学沉积(PECVD)方法制备了一种新的电介质薄膜-SiOP,用X射线光电子谱(XPS)和光荧光(PL)研究了膜的结构及膜对1.55......
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SiOP介质膜及
PECVD
量子阱混合QWI
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