激光调阻机相关论文
为了有效提高激光调阻机的调阻精度和调阻效率,本文设计了一种激光调阻机测控系统.通过检测调阻过程中阻值的变化,有效控制激光器......
主要讨论了激光调阻机光学系统设计要点.分析了激光束参数和扫描方式对调阻结果的影响,结合整机总体设计给出了扫描振镜和激光源的......
为了获得一种用于自动激光调阻机中的激光打标系统，选用VB程序设计语言并采用API函数从TureType字库中提取字符信息，将字符信息保存......
对激光调阻机各个参数的确定及维护要点作出说明。...
论述了激光调阻机中用有源单臂电桥进行刻蚀电阻的原理,提出了在电阻测量时消除线电阻及其接触电阻的方法.在复频域对激光调阻机高......
<正>一、引言在实际的专利代理工作中,对于以我国专利法第26条第3款作为驳回理由的审查意见,往往答复较为困难。为了避免专利申请......
本文介绍了一种基于激光调阻机的辅助多功能电源的研制,该电源作为激光调阻机的外围控制电路可以输出两路稳定可调的电压,并能输出......
微电子设备(激光调阻机)中的运动控制系统是该设备的重要部分,它决定了设备的生产质量和生产效率.其特点是:高精度、高速度、高效......
采用图像定位,可以更加精确、有效地将激光定位在调整的开始点,使激光调阻多功能控制器使用起来可靠性好、精度高。通过图像采集卡......
为了减小激光调阻机测量系统的多档测量误差对阻值修调精度的影响,提出了一种基于有源单臂电桥测量原理自适应地校正激光调阻机多......
随着电子及信息技术的高速发展,电子产品朝着小型化发展已是大势所趋,而厚膜混合集成电路是实现电子装备微型化的重要途径。厚膜电......
学位
本文从以下几方面对激光调阻机的光刻平台系统进行了控制研究与设计： 结合实验分析了光刻平台的动、静态性能和定位精度对电阻光......
目前国外已经开始生产0402型片阻，而国产激光调阻机尚不能满足其调阻要求，原因之一就是其运动控制系统还有差距。本论文就是针对这一......
激光加工技术是八十年代后期崛起的一个新兴技术领域，它集光学、精密机械、电、计算机控制和精密测量等多种技术于一体。激光调阻机......
我国的制造业长期以来处于全球制造链的低端，随着低端产品生产能力的过剩，产业升级成为迫在眉睫的任务。在中国的电子产业产品升级过......
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随着信息技术的迅猛发展，各类电子产品的小型化已经是不可逆转的趋势。而厚膜混合集成电路的发展对电子设备的微型化起到了重要的推......
激光调阻机是激光刻蚀技术在电子加工工业中的一种应用,是集光学、精密机械、计算机控制和精密测量技术于一体的高技术的加工设备,......
