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激光面热源相关论文
面热源热裂微波低吸收率陶瓷和硅晶圆切割方法的研究
陶瓷材料优良的力学、热学、电学、光学等性能,使其在高新技术行业和先进制造领域占据着不可替代的作用。然而,陶瓷材料的硬度高、......
学位
陶瓷材料
热裂法
微波面热源
激光面热源
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