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弗里曼源热阴极弧放电在高温下应用中的几个问题
介绍弗里曼源在典型气体流量下弧室内、源缝口侧、引出缝口后300mm处和监控处的真 空度间的关系,纯灯丝热和弧放电热引起的弧室内壁、料......
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弗里曼离子源
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