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热场工艺相关论文
多晶硅真空定向凝固制备硅锭的热场模拟与提纯研究
在多晶硅定向凝固制备铸锭工艺中,通过热场控制获得硅熔体固-液界面处的分凝效应使金属杂质聚集在硅锭的顶部和底部,多晶硅得到进一......
学位
硅锭
定向凝固
热场工艺
真空度
晶体生长
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