热解氮化硼相关论文
六方氮化硼(h-BN)具有优异的综合性能以及特殊的二维结构,在众多高新技术领域具有十分广阔的应用前景。目前,h-BN材料的生长及制备工......
本文系统地介绍了热解氮化硼材料的制备工艺、结构表征、沉积机理和影响热解氮化硼制备的关键工艺参数,重点对BN的沉积机制和反应......
本文采用化学气相沉积法(CVD)制备热解氮化硼,通过调整CVD温度、CVD压力,获得了密度大于2.17g/cm3、金属杂质含量小于10×10-6、层结......
本文主要介绍了热解氮化硼材料制备方法,系统介绍了化学气相沉积法制备的热解氮化硼的沉积机理,对热解氮化硼的沉积机理和反应机理......