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SU-8去胶工艺对电铸Ni材料力学性能的影响
SU-8负胶具有优异的力学性能、抗化学腐蚀性、热稳定性和生物兼容性,在MEMS工艺和器件中得到广泛应用。镍金属具有良好的力学性能......
期刊
SU-8
电铸镍
力学性能
DCE
熔盐浴
SU-8 electrodeposited nickel mechanical property DCE m
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