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物镜畸变相关论文
接触式干涉仪定度误差分析及调整
本文从接触式干涉仪测微原理出发,运用几何光学的基本原理,导出接触式干涉仪分度值表达式,并对定分度值所产生的误差进行了分析,同时对......
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