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HVPE反应器的环形分隔进口数对生长均匀性的影响
利用FLUENT软件对3种环形分隔进口(4环、8环、12环)的氢化物气相外延(HVPE)反应器的生长均匀性进行了二维数值模拟研究。分别考虑输运......
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HVPE GaN annular inlet reactor design simulation
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