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结合烧结法和溶胶凝胶法成功地在钛基体上制备出含有过渡玻璃层的羟基磷灰石涂层材料。经XRD测定该涂层具有较高的纯度、结晶度、......
一种用于在半导体晶片或者衬底上原位形成高浓度硼磷硅酸盐玻璃膜的方法和装置。在实施例中，该方法由将衬底提供到腔室中开始。该方......
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