甲烷掺杂相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

甲烷掺杂相关论文

甲烷掺杂SiCOH薄膜的制备和性能研究

通过在前驱气体D5源中添加甲烷，由ECRCVD沉积技术制备出了低介电常数的SiCOH薄膜，在甲烷流量为2sccm的条件下，获得了k值为2.45的薄膜......

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低介电常数甲烷掺杂 SiCOH薄膜化学键结构退火气氛

热处理对掺CH4的SiCOH薄膜结构及性能的影响

随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致信号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低......

学位

甲烷掺杂 SiCOH薄膜热处理化学键结构湿水性

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