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电子回旋共振化学沉积相关论文

氟化非晶碳薄膜结构与热稳定性研究

在室温下以C4F8和CH4为前驱气体，用电子回旋共振化学气相沉积（ECR-CVD）的方法生长了氟化非晶碳（α-C：F）薄膜。通过傅立叶变化红外光谱分......

期刊

氟化非晶碳低K材料热稳定性电子回旋共振化学沉积 α-C：F low-K thermal stability ECR-CVD

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