对ISO(International Organization for Standardization)6级上送侧回模式的乱流电子洁净室进行了数值模拟,运用计算流体力学方法......

针对气态化学污染控制,回顾了电子洁净室环境控制规范的发展历史和主要内容.从污染物分类、洁净等级划分等方面对比了不同国家及不......

讨论了电子洁净室空调系统能耗的影响因素,分析总结了电子洁净室空调系统的能耗特征,发现气流组织设计对电子洁净室能耗影响显著,......

针对大型电子洁净厂房存在的FFU送风口数量巨大导致难以模拟分析的问题,提出了一种针对FFU送风口的简化处理方法。根据不同FFU布置......

电子厂房洁净室作为一个庞大而复杂的系统,会导致其洁净度不合格的因素很多。为了保持洁净室洁净度水平,应定期进行洁净检测,并通......

近几年来,电子制造业快速发展,经济贡献逐年增高,在国家高科技产业布局中的地位越来越重要。洁净空调技术是微电子制造业的基础条......