电子用高纯化学试剂相关硕士博士期刊学术论文

电子专用超净高纯化学试剂是微电子技术加工制作过程中不可缺少的关键性化学品之一，主要用于芯片清洗和腐蚀，它的纯度和清洁度对集成......