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高纯水——在电子工业中常定标为18兆欧——早已成为制作集成电路及类似的单片器件的主要材料之一。现在,几何尺寸变得更小的更高......
本工作建立了高纯水、高纯气(N_2、H_2、O_2、Ar、He);特种气体(硅烷、磷烷、二氧化碳、氯化氢、甲烷)以及硅片,高纯水用的各种树......
