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Design and fabrication process of electromagnetically actuated valveless micropump with two parallel
平行动态被动无阀门的 micropump 被设计,它由三层鈥攙a lve,隔膜和电磁的卷组成。阀门湿乎乎地在硅晶片被蚀刻,隔膜是电影与嵌入的永......