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疏水硅相关论文
环境温度对单晶硅摩擦化学去除的影响机制
单晶硅因其优异的物理和化学特性被广泛用作微机电系统(MEMS)、集成电路(IC)和光电子元器件的结构功能材料。本文借助原子力显微镜(AFM)......
学位
疏水硅
温度
液桥体积
摩擦化学去除
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