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痕量杂质气体相关论文
基于四极质谱仪O形氟橡胶圈的放气研究
在真空系统中,接口之间的密封主要有金属与橡胶密封.橡胶属于弹性元件,是一种适应性很强的密封件,其广泛应用于真空系统中.实验研......
期刊
O形橡胶圈
痕量杂质气体
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四极质谱仪
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