直拉法(CZ) 相关硕士博士期刊学术论文

综述了传统炭／炭复合材料和膨胀石墨基低密度炭／炭复合材料在半导体制造业直拉（CZ）法单晶硅炉中的应用。指出了在CZ单晶炉内炭／炭复合材......