直排大气相关论文
高真空直排大气干泵结构紧凑、干净无油、极限真空度高，是真空获得领域的研究热点。其中旋涡结构由于体积小、结构简单且可进行多级......
IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的......
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气......
本文分析了气冷罗茨真空泵工作过程中产生噪声的主要根源,通过在Pro/engineer环境中三维实体精确建模,设计制做了一种减缓排气口及......
