直接紫外光刻技术相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

直接紫外光刻技术相关论文

基于强限制光波导的微环谐振器及其热光特性研究

器件小型化的研究一直是集成光电子器件的发展方向之一。利用强限制光波导结构是实现器件小型化设计的一种非常有效的途径。微环谐......

学位

强限制光波导微环谐振器(MRR) 热光时域有限差分(FDTD) SOI(Silicon-on-insulator) 滤波器 SU-8 直接紫外光刻技术多模

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