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直线四探针法相关论文
探针游移对测试大型硅片微区薄层电阻的影响及仿真技术研究
电阻率是半导体材料中一个很重要的性能指标,通过对它的测量可以得到半导体材料的掺杂浓度等重要信息,而且直接影响到生产出来的器......
学位
微区薄层电阻
四探针测试技术
直线四探针法
方形四探针法
仿真技术
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