相移干涉技术相关论文
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为了减少星敏感器等空间姿态测量仪器的测量误差,提升星点定心精度,通过研究图像探测器像素位置偏差对定心精度的影响,提出了一种......
相移干涉技术是超精密测量及微纳米检测的关键技术之一,也是现代光学测试技术的主要方面。它具有高灵敏度、高精度、非接触性及可......
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一、引言从测量方式来看,表面微观轮廓的测量可分为接触式和非接触式。接触式很难用于起伏的表面轮廓测量。非接触式测量主要以光学......
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