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非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜研究
尽管溅射沉积MoS2薄膜已成为星上精密活动件表面润滑改性的主要手段之一,但是当前的薄膜制备技术依然存在大气防潮能力低、真空环境......
学位
非平衡磁控溅射沉积
MoS2-Ti复合薄膜
工艺参数
结构与性能
空间飞行器
滚动轴承
大气防潮能力
真空寿命试验
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