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提出了石英压力传感器中石英膜片的化学加工方法,从选材、原理及工艺设计、关键加工步骤及过程控制方法等方面进行了研究,并通过相......
随着光纤传感技术的发展和应用领域的不断拓宽,对传感器的要求越来越趋向于微型化。在某些环境恶劣,如具有强电磁干扰和腐蚀性,或......
在生物医学领域,可侵入人体内的微型压力传感测量技术在疾病诊断中发挥着重要的作用。在高温、高压、强电磁干扰和腐蚀性的工业环......
为满足工业和生物医学领域对微型化传感器的需求,实验研究了基于Fabry-Perot(F-P)干涉仪原理的膜片式微型光纤压力传感器的制作工......
