硅-绝缘体相关论文
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对功率器件中常用的体连接技术进行了改进，利用一次硼离子注入技术形成体连接。采用与常规1μmSOI（硅-绝缘体）CMOS工艺兼容的工艺流程......
回顾了应用于ＳＯＩ功率集成电路的ＳＯＩ功率器件的发展背影，论述了ＳＯＩ功率器件的开发现状，以及作为ＳＯＩ功率器件基础的ＳＯＩ材料制备技术和耐压结构研究的最......
