硅基应变材料相关论文
论文工作来源于国家重点项目“硅基应变超高速集成器件及相关基础研究”，是学科研究的前沿。自二十世纪九十年代中后期以来，大量研究......
硅基应变材料及其技术具有迁移率增强高、能带可裁减、与标准Si工艺完全兼容等高性能、低成本特性，在高速、高频、低压、低功耗等领......
应变SiGe和应变Si以其相对于体Si的诸多优点,成为遵循摩尔定律发展的新材料技术。由于SiGe与衬底之间存在较大的晶格失配,所以异质......
硅MOS器件尺寸遵循摩尔定律不断缩小,现已接近其物理极限。硅基应变材料(锗硅和应变硅)以迁移率高、能带结构可调、且与传统的体硅......
