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硅烷流化床相关论文
硅烷流化床法生产粒状多晶硅
文章简述了改良西门子法和硅烷流化床法两种主要的多晶硅生产方法及发展现状.阐述了硅烷流化床生产制备粒状硅的原理,包括均相反应......
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