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硅片抛光剂相关论文
硅片抛光剂SiO2溶胶的制备和性能研究
以NaOH和有机碱为介质,制成两种乳白色碱性SiO2溶胶,溶胶粒径在50 ̄70nm范围,性能稳定,当SiO2浓度低于50%(质量分数),pH=8.5 ̄11时,溶胶可以长时间存放而不沉淀分层。超微SiO2颗粒......
期刊
SiO2溶胶
硅片抛光剂
超微细
稳定性
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