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硅过渡层相关论文

基于硅过渡层纳米金刚石膜/GaN复合膜系的制备

本文研发了一种简便有效的在GaN半导体衬底上直接生长纳米金刚石膜的方法。研究发现,直接将GaN衬底暴露于氢等离子体中5 min即发生......

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氮化镓硅过渡层纳米金刚石膜直接生长分解 GaN Si buffer layer Nano-diamond film Direct growth

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