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高补偿单晶硅NTCR镀Ni电极欧姆接触的研究
采用4.5Ω·cm的p型单晶硅,通过高温气相扩散法将锰掺入硅中,得到高补偿单晶硅。用化学沉积法,在高补偿单晶硅材料的表面镀金属镍......
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硅镍化舍物
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