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GaP薄膜的制备与性能研究
利用磁控溅射法成功地制备出GaP薄膜,并对GaP薄膜的沉积速率、成分、结构及红外光学性能进行了研究.结果表明,沉积薄膜中Ga与P的原......
期刊
GaP薄膜
射频磁控溅射
增透保护膜系
制备
磷化镓薄膜
性能
硫化锌基片
gallium phosphide filmsmagnetron sputterin
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