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硼、磷杂质相关论文

探究吸附装置安装位置对多晶硅除硼磷的影响

多晶硅生产中最难去除的杂质是硼、磷。为提高吸附装置对硼、磷杂质的吸附效果,降低多晶硅原料氯硅烷中的杂质含量,提升多晶硅的品......

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多晶硅氯硅烷硼、磷杂质吸附稳定性 polycrystalline siliconchlorosilaneB and P impuritiesadsorp

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