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钒注入制备半绝缘SiC的退火效应
对钒离子注入p型和n型4H-SiC制备半绝缘层的方法和特性进行了研究。注入层电阻率随退火温度的升高而增加,经过1650℃退火后,钒注入p......
期刊
半绝缘碳化硅
钒离子注入
退火
碳保护膜
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semi-insulating silicon carbide vanadium ion implantatio
电火花加工中电极蚀除及其理论基础的研究
电火花加工作为不同于传统加工的一种工艺方法,被广泛应用在模具行业和汽车工业等制造领域,并且发挥着不可替代的作用。然而由于电火......
学位
电火花加工
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