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碳化物薄膜相关论文

VC/TiC超晶格薄膜的微结构及超硬效应

采用磁控溅射工艺制备VC/TiC超晶格薄膜,并采用EDXA,XRD、HRTEM和纳米力学探针研究调制周期对超晶格薄膜的微结构和力学性能的影响......

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超晶格薄膜碳化物薄膜微结构演变超硬效应外延生长 superlattice films carbide films microstructure evol

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