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磁通密度纹波相关论文
微细加工平台特性研究
通过对不同结构的微细加工平台的分析,指出采用Halbach磁阵和螺线管结构研制的微细加工平台的磁场特性比较复杂,难于建模和控制.提......
期刊
微细加工平台
Halbach磁阵
磁通密度纹波
<Keyword>microfabricationtechnology stage
Halbach
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