磨粒合成运动速度相关硕士博士期刊学术论文

本文利用数学矩阵方法，建立大尺寸硅片自旋转磨削运动的理论模型，研究了砂轮半径、硅片和砂轮旋转速度、旋转方向等因素的选择及各因......