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磷析出相关论文
WSix沉积前清洗中一种失效现象及改进方法
研究并讨论了在WSix制备的前清洗中,用气态氟化氢(HF)清洗时,多晶硅表面有从其体内析出的含磷物,这种析出物很容易跟气态HF中的微量水汽......
期刊
硅化钨沉积
磷析出
沉积前清洗
WSix deposition
P out diffuse
pre clean for deposition
化学镀镍磷合金过程中磷的析出及其对镀层性能的影响
化学镀镍镀层中磷的含量对镀层的物理化学性质有很大的影响。明确化学镀镍过程中磷的析出机理及影响因素,是控制磷含量的先决条件......
学位
化学镀镍
磷析出
络合催化
光亮剂
黑镍
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