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磷检相关论文
硅多晶质量检测分析中的磷检电阻率曲线研究
本文对几种典型的实测电阻率曲线进行分析,利用普凡公式和补偿后净载流子导电模型对曲线的异常进行了合理解释并用低温红外检测结......
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