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新型圆光栅多头读数系统的研究
本文介绍了一种新的圆光栅多读数头按某一等分角度分布的方法及其实用效果,为光栅式测量装置的设计提供了一条新途径。......
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圆光栅
多读数头
积分残差
富氏谱项
相对角位置误差
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