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双球面法标定立式参考球面的精度分析
采用双球面法对立式Fizeau干涉仪的参考球面进行标定以确定由重力、安装夹持力等导致的面形形变量,提高立式光学系统中光学元件的面......
期刊
双球面法
立式参考球面
绝对测量
重力变形
Fizeau干涉仪
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