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符合法弹性前冲相关论文
符合法弹性前冲测量重掺锑硅中氧含量
本文以能量为27MeV的^12C做为入射粒子束,采用符合法弹性前冲(CERDA)定量测量了重掺锑硅中氧含量,证明重掺锑硅中氧含量较普通直拉硅要低约40%,且随着锑含......
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VLSI
掺杂
锑
硅
测量
符合法弹性前冲
重掺硅
Integrated circuit manufactureOxygenSemiconductor dop
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